记者从南方科技大学获悉，以香港大学、南方科技大学、北京大学东莞光电研究院为主要完成单位的“创新方法实现规模化制备柔性超平金刚石薄膜”成功入选。
金刚石具有极高的硬度、超高的载流子迁移率、强大的介电击穿强度、优异的热导率以及宽禁带特性，被誉为“终极半导体材料”。但超薄金刚石膜的大规模生产面临诸多挑战，仍未实现广泛应用。
2024年底，南方科技大学深港微电子学院助理教授李携曦与其合作团队在金刚石薄膜材料制备和应用方面取得重要进展。
据了解，该研究成功开发了切边后使用胶带进行剥离的方法，能够制备出大面积（2英寸晶圆）、超薄（亚微米级厚度）、超平整（表面粗糙度低于纳米）且具备超柔性（可360°弯曲）的金刚石薄膜。
通过理论建模优化剥离角度和厚度参数，该方法在几秒钟内即可完成传统激光切片、底材刻蚀等需耗时数十小时的工艺，大幅提升生产效率并降低成本。
制备出的金刚石薄膜便于进行微纳尺度的加工操作，超柔性特性使其能够直接应用于弹性应变工程及变形传感应用，这是传统更厚的金刚石薄膜所无法实现的。
这一制备金刚石薄膜的技术创新，在材料科学领域具有里程碑意义，为大规模生产高品质金刚石薄膜提供了切实可行的路径，有望加速金刚石材料在电子学、光子学等相关领域的商业化进程。
内容来源：深视新闻
记者：李婷
编辑：许坚琳审读：黄淳马丹 梁力丹
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